发明名称 |
激光加工装置 |
摘要 |
本发明为一种激光加工装置,该装置用第一偏振光装置25将一束激光26分光成两束激光26a、26b,一束经反射镜24,另一束用第一电流计扫描器29沿两个轴向扫描,并将两束激光26a、26b引向第二偏振光装置27后,用第二电流计扫描器30扫描,来加工被加工件22,在这种激光加工装置中,这样构成光路,使得透过第一偏振光装置25的激光26b用第二偏振光装置27反射,使得用第一偏振光装置25反射的激光26a透过第二偏振光装置27。 |
申请公布号 |
CN1290660C |
申请公布日期 |
2006.12.20 |
申请号 |
CN02822600.3 |
申请日期 |
2002.11.13 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
黑岩忠;井岛健一;小林信高 |
分类号 |
B23K26/067(2006.01);H05K3/00(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/067(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
包于俊 |
主权项 |
1.一种激光加工装置,该装置用第一偏振光装置将一束激光分光成两束激光,一束经反射镜,另一束由第一电流计扫描器沿两个轴向扫描,将两束激光引导入第二偏振光装置后,用第二电流计扫描器扫描,来加工被加工件,其特征在于,这样构成光路,使得透过第一偏振光装置的激光用第二偏振光装置反射,使得用第一偏振光装置反射的激光透过第二偏振光装置。 |
地址 |
日本东京 |