制备纳米氮化铝陶瓷粉体的方法

摘要

本发明涉及一种有效降低烧结温度、适于工业化采用的制备纳米氮化铝陶瓷粉体的方法主要包括以下步骤：发生器在Ar气环境下起弧，再通H₂气，压力达0.35～0.40MPa成为N₂、H₂弧；调整电压、电流；气化的AlCl₃、NH₃气经输料喷管，输入反应器内，Al与N合成为固相纳米AlN，经冷却系统、分离系统后进行粉体收集。本发明具有生产效率高、连续稳定以及AlN的粉体粒度范围窄和较理想的纯度。

主权项

1、一种制备纳米氮化铝陶瓷粉体的方法，本发明提供的方法包括以下步骤：(1)、提供一个等离子弧发生器，发生器在Ar气环境下起弧，此时为Ar弧，起弧后通N2气，压力达0.30～0.35Mpa为止，关闭Ar气，从Ar弧转为N2弧，再通H2气，压力达0.35～0.40MPa成为N2和H2弧；(2)、调整发生器阴阳极间隙使电压为270±10伏，旋转控制旋钮使电流为240±10安；(3)、起弧后由蒸发器将气化的AlCl3经向下15度的一对输料喷管，输入反应器内；将NH3气经向上15度的一对输料喷管，输入反应器内；(4)、进入反应器内的AlCl3和NH3在1200℃等离子弧热源作用下迅速分解为Al、Cl、N和H离子，随之Al与N合成为固相纳米AlN，Cl离子与H离子合成为气态HCl；(5)、合成后的AlN和HCl在载气作用下迅速离开反应腔，经冷却系统和分离系统后进行粉体收集。