发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05152577(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910315836 申请日期 1991.11.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORITA SHIGERU
分类号 H01L21/8247;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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