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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152237(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910312067 申请日期 1991.11.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUJII SHINJI;MAYUMI SHUICHI
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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