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发明名称 IMPURITY DIFFUSION DISTRIBUTION SIMULATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152234(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910335624 申请日期 1991.11.25
申请人 SONY CORP 发明人 KIMURA MITSUNORI
分类号 H01L21/22;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/82 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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