发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152302(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910207753 申请日期 1991.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AMANO ISAO;HASHIMOTO KENJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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