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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING FET HAVING RECESS STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH05152345(A)
申请公布日期
1993.06.18
申请号
JP19910317217
申请日期
1991.12.02
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SAITO TADASHI
分类号
H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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