发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152415(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910342153 申请日期 1991.11.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAI NOBUAKI;IDE HIROSHI;URAGAMI KEN
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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