发明名称 STEPPED WALL INTERCONNECTOR AND MANUFACTURE OF GATE
摘要
申请公布号 JPH05152293(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19920110541 申请日期 1992.04.28
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON INC 发明人 UIRIAMU WAI HATA
分类号 H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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