发明名称 |
STEPPED WALL INTERCONNECTOR AND MANUFACTURE OF GATE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05152293(A) |
申请公布日期 |
1993.06.18 |
申请号 |
JP19920110541 |
申请日期 |
1992.04.28 |
申请人 |
S G S THOMSON MICROELECTRON INC |
发明人 |
UIRIAMU WAI HATA |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|