发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152286(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910314263 申请日期 1991.11.28
申请人 NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 MORI YASUHIRO
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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