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发明名称 MIT EINEM DUENNSCHICHTLEITER VERSEHENER ELEKTRISCHER WIDERSTAND UND KRAFTSENSOR.
摘要
申请公布号 DE3784705(T2) 申请公布日期 1993.06.17
申请号 DE19873784705T 申请日期 1987.10.23
申请人 ANRITSU CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KODATO, SETSUO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN 243, JP;NAKAMURA, MASAO, HATANO-SHI KANAGAWA-KEN 257, JP
分类号 G01R1/20;G01R19/03;G01R19/22;H01C1/142;H01C7/00;H01L35/00;H01L35/08;H01L35/14;(IPC1-7):H01C7/00 主分类号 G01R1/20
代理机构 代理人
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