发明名称 金属照相电解加工工艺
摘要 一种新的照相电解加工工艺方法,属于电物理、电化学加工领域。该方法在电化学腐蚀加工时,在曝光、显影后的高温合金薄板工件与电极之间通以高速流动的中性(盐)电解液,它不仅起导电和电化学反应作用,还能将阳极表面上的反应产物、氢气和热量及时带走;从而大大改善腐蚀的均匀性,另外,减小极间距离,使电流增大,腐蚀速度将显著增加,可达1mm/分,提高了胶膜的耐用度,可使腐蚀深度达1mm,另外,减小了环境污染和实现自动化也是它的优点之一。
申请公布号 CN1073219A 申请公布日期 1993.06.16
申请号 CN91111431.9 申请日期 1991.12.09
申请人 航空航天工业部第625研究所 发明人 刘家富
分类号 C25F3/14 主分类号 C25F3/14
代理机构 航空航天工业部航空专利事务所 代理人 陈宏林
主权项 1、一种金属照相电解加工工艺,其工艺过程包括采用照相掩膜的方法制得图案,并使之在涂有光致抗蚀胶膜的阳极工件上曝光,制成附有加工图案的待加工工件(阳极),之后,进行电解腐蚀加工,其特征在于:1.在工件(阳级)与电极(阴极)之间通以流动的中性电解液;浓度变化范围为10~20%,2.加工工件(阳极)与电极(阴极)之间的间隙固定不变,尺寸选择范围为0.5~3mm,3.在工件(阳极)与电极(阴极)之间通直电流,电压调整幅度为10~15V,4.电解液在极间进口处具有一定压力,其要求选择范围为0.2~0.4Mpa。
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