发明名称 THREE-DIMENSIONAL REFRACTIVELY SCANNING INTERFEROMETER STRUCTURE HAVING REMOVABLE OPTICAL CARTRIDGE
摘要
申请公布号 EP0501833(A3) 申请公布日期 1993.06.16
申请号 EP19920301748 申请日期 1992.02.28
申请人 RESEARCH-COTTRELL TECHNOLOGIES INC. 发明人 PONCE, FRED H.;PAREJA, CARLOS H.;VIDRINE, WARREN D.
分类号 G01B9/02;G01J3/45;G01J3/453;(IPC1-7):G01J3/453 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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