用于测量喷嘴与传感器之间的X轴和Y轴方向距离的方法

摘要

本发明提出了一种在糊状物分配器中使用的方法，该糊状物分配器在基板上分配糊状物以形成特定糊状物图案，该方法根据从传感器所获得的数据来保持喷嘴与基板之间的恒定距离，该方法包括以下步骤：通过使具有用来分配糊状物的喷嘴的分配头单元沿Y轴方向移动，在基板上形成沿Y轴方向具有特定长度的Y轴方向纵向图案；通过使传感器能够沿X轴方向扫描整个Y轴方向纵向图案，来测量传感器与喷嘴之间的X轴方向距离；通过使具有用来分配糊状物的喷嘴的分配头单元沿X轴方向移动，形成沿X轴方向具有特定长度的X轴方向纵向图案；以及通过使传感器能够沿Y轴方向扫描整个X轴方向纵向图案，来测量传感器与喷嘴之间的Y轴方向距离。

主权项

1.一种在糊状物分配器中使用的方法，所述糊状物分配器在基板上分配糊状物以形成特定糊状物图案，所述方法根据从传感器所获得的数据来保持喷嘴与基板之间的恒定距离，所述方法包括以下步骤：通过使具有用于分配糊状物的所述喷嘴的分配头单元沿Y轴方向移动，在所述基板上形成沿Y轴方向具有特定长度的Y轴方向纵向图案；通过使所述传感器能够沿X轴方向扫描整个所述Y轴方向纵向图案，来测量所述传感器与所述喷嘴之间的X轴方向距离；通过使具有用于分配糊状物的所述喷嘴的所述分配头单元沿X轴方向移动，形成沿X轴方向具有特定长度的X轴方向纵向图案；以及通过使所述传感器能够沿Y轴方向扫描整个所述X轴方向纵向图案，来测量所述传感器与所述喷嘴之间的Y轴方向距离。