| 发明名称 |
SEALING STRUCTURE OF VACUUM CHAMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05149433(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910309175 |
申请日期 |
1991.11.25 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
NOSE SHIRO;MURATA MITSUO;HOSODA KENJI;FUKUNAGA AKIO |
| 分类号 |
F16J12/00;F16J15/08;H01L21/205 |
主分类号 |
F16J12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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