| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD BY PULSE PLASMA CVD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05148654(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910340403 |
申请日期 |
1991.11.28 |
| 申请人 |
SHINKO SEIKI CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI SHINICHI;KITANAKA TAKASHI;KAWASHITA YASUSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/455;C23C16/515 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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