METHOD FOR PURIFICATION OF CHLOROSILANE,申请号JP19910340181-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PURIFICATION OF CHLOROSILANE
摘要
申请公布号	JPH05147922(A)	申请公布日期	1993.06.15
申请号	JP19910340181	申请日期	1991.11.29
申请人	SHIN ETSU CHEM CO LTD	发明人	SHIMIZU TAKAAKI;KIDOKORO NOBUYUKI
分类号	C01B33/107	主分类号	C01B33/107
代理机构		代理人
主权项
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