发明名称 MULTILAYER STRUCTURE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 US5219639(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 US19910665072 申请日期 1991.03.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SUGAWARA, NORITOSHI;SATOH, KAZUAKI
分类号 H05K3/46;H01L21/48;H01L23/538;H05K1/03;H05K3/32;H05K3/40 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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