发明名称 |
MULTILAYER STRUCTURE AND ITS FABRICATION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
US5219639(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
申请号 |
US19910665072 |
申请日期 |
1991.03.06 |
申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SUGAWARA, NORITOSHI;SATOH, KAZUAKI |
分类号 |
H05K3/46;H01L21/48;H01L23/538;H05K1/03;H05K3/32;H05K3/40 |
主分类号 |
H05K3/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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