| 发明名称 |
FORMATION OF THIN HIGH FUNCTIONALITY FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05148620(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910314733 |
申请日期 |
1991.11.28 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
DOMOTO YOICHI;HIRANO HITOSHI;KIYAMA SEIICHI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/22;C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
