发明名称 IMPURITY INJECTOR
摘要
申请公布号 JPH05148646(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910310492 申请日期 1991.11.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA HIDEYUKI
分类号 B01J19/12;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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