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发明名称 MANUFACTURING FACILITY FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH05149591(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19920135613 申请日期 1992.04.30
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 OTSUBO TAKAYUKI;WADA TOSHIO
分类号 F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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