发明名称 SILICA GLASS FILTER
摘要
申请公布号 JPH05146616(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910337785 申请日期 1991.11.27
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 SHIRAISHI KOICHI;ANDOU KUNIKO
分类号 B01D39/14;B01D39/20;B01D63/06;B01D71/04;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B01D39/14
代理机构 代理人
主权项
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