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发明名称 MEASURING METHOD FOR THERMAL PROPERTY OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05149900(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910342339 申请日期 1991.11.30
申请人 NEC CORP 发明人 OKUBO SHUICHI
分类号 G01N25/18;G01N27/04 主分类号 G01N25/18
代理机构 代理人
主权项
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