发明名称 INSPECTING APPARATUS OF MICROLENS ARRAY
摘要
申请公布号 JPH05149824(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910312727 申请日期 1991.11.27
申请人 SHARP CORP 发明人 SHIBATA KAZUHIRO;HAMADA HIROSHI;YAMATANI TAKUJI;UEDA KAZUHIDE;SHINOMIYA TOKIHIKO;IWAKOSHI YOKO;SHIBATANI TAKESHI
分类号 G01M11/00;G01M11/02 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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