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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING SUPERCONDUCTING OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05149720(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910315089 申请日期 1991.11.29
申请人 KOKUSAI CHODENDO SANGYO GIJUTSU KENKYU CENTER;HITACHI LTD 发明人 HIGASHIYAMA KAZUHISA;HIRABAYASHI IZUMI;MORISHITA TADATAKA;TANAKA SHOJI
分类号 G01B11/06;G01B11/30;H01L39/00;H01L39/24 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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