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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DECIDING REFERENCE POSITION FOR DOUBLE-BEAM INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH05149708(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910335863 申请日期 1991.11.27
申请人 JASCO CORP 发明人 KIMURA SHIGEYUKI
分类号 G01B9/02;G01D11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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