| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN POTASSIUM NIOBATE TANTALATE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05148656(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910307577 |
申请日期 |
1991.11.22 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD;HIRANO SHINICHI |
发明人 |
HIRANO SHINICHI;YOGO TOSHINOBU;KIKUTA KOICHI |
| 分类号 |
C01G35/00;C23C18/12;H01L41/18 |
主分类号 |
C01G35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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