发明名称 ANORDNING OG FREMGANGSMAATE FOR OPTIMAL AVSOEKNING AV EN TODIMENSJONAL OVERFLATE TIL EN ELLER FLERE OBJEKTER
摘要
申请公布号 NO932203(D0) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 NO19930002203 申请日期 1993.06.15
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 POULTNEY, SHERMAN
分类号 C23F1/08;G03F7/20;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G01B/ 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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