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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05144748(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910333923 申请日期 1991.11.22
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 FUKADA TAKESHI;SAKAMA MITSUNORI;ICHIJO MITSUHIRO;ABE HISASHI;YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L31/04;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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