离子植入机的反应室及其清洁方法

摘要

一种离子植入机之反应室，包含一晶圆区、一缓冲区以及一光束装置。晶圆区包含复数承载部。缓冲区包含复数缓冲部，该些缓冲部系分别结合于该些承载部。光束装置发射出一光束并于该缓冲区范围内对该些缓冲部进行扫描以清洁该些缓冲部。该方法至少包含：提供一光束，并使用该光束扫描该缓冲区范围以清洁该些缓冲部。