基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明于使用含有微气泡或奈米气泡之处理液之基板处理装置及基板处理方法中，提供一种可对于基板使微气泡或奈米气泡有效地起作用之技术。微气泡洗净处理部40可藉由调节注入被压送之洗净液中之氮气之流量，而调节洗净液中含有之微气泡之大小。因此，可根据作为去除对象之微粒之大小，大量地供给最佳尺寸之微气泡，且可对于基板使微气泡有效地起作用。