发明名称 MANUFACTURE OF JOSEPHSON-TUNNEL JUNCTION ACCURATELY CONTROLLING JUNCTION REGION
摘要
申请公布号 JPH05145132(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910238157 申请日期 1991.09.18
申请人 TRW INC 发明人 RUUKU PIYUNGESA RII;HIYUUGO WAI KUN CHIYAN;ROBAATO DANRATSUPU SANDERU
分类号 H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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