发明名称 STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR CONTACT HOLE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05145060(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910306448 申请日期 1991.11.22
申请人 NEC CORP 发明人 JIYON MAAKU DORAINAN
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/41 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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