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经营范围
发明名称
SURFACE PROCESSING SECTIONAL OBSERVATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05144900(A)
申请公布日期
1993.06.11
申请号
JP19910303048
申请日期
1991.11.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
HATTORI TADATETSU
分类号
H01L21/66;H01L21/3205
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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