发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05144897(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910309276 申请日期 1991.11.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE KATSUJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址
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