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发明名称
VAPOR EPITAXIAL GROWTH DEVICE AND METHOD OF GROWING
摘要
申请公布号
JPH05144850(A)
申请公布日期
1993.06.11
申请号
JP19910304592
申请日期
1991.11.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NISHINO HIROSHI;SAITO TETSUO
分类号
H01L21/205;H01L21/365
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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