| 发明名称 |
INSULATING FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05144803(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910309160 |
申请日期 |
1991.11.25 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
MIYAZAKI YOSHIHISA;HASHIMOTO TAKESHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
B01J19/00;C23C14/54;C23C16/56;C30B25/10;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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