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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05145074(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910304681 申请日期 1991.11.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAMURA HIROYOSHI
分类号 C30B25/14;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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