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发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM COMBINED DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05144596(A)
申请公布日期
1993.06.11
申请号
JP19910331144
申请日期
1991.11.20
申请人
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD
发明人
KAMISAKA MITSURU
分类号
G21K1/093;G21K5/04;H05H7/00
主分类号
G21K1/093
代理机构
代理人
主权项
地址
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