首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 MICROWAVE PLASMA ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR930005012(B1) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 KR19900003814 申请日期 1990.03.21
申请人 NICHITEN ANELVA CO., LTD.;NIPPON ELECTRIC CO., LTD. 发明人 SAMUKAWA, SEIJI;SASAKI, MASAMI;MORI, SUMIO
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com