发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05144855(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910334383 申请日期 1991.11.22
申请人 TOSHIBA CHEM CORP 发明人 OKUNOYAMA TERU
分类号 H01L21/52;C09J175/00;C09J175/04 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址