| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05144906(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910308946 |
申请日期 |
1991.11.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MATSUSAKO TAKAO;SATSUMA KAZUMASA |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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