| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SOT SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05144761(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910062973 |
申请日期 |
1991.03.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAI TETSUYA;SHINYASHIKI HIROSHI;YAMAGUCHI YASUO;NISHIMURA TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/00;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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