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Die Erfindung betrifft eine Plasmadüse sowie ein Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von Werkstücken mit Plasmadüsen, mit einem Gehäuse (1), welche eine erste Elektrodeneinheit (3) aufweist, welcher ein erster Düsenkanal (15) zugeordnet ist, wobei der erste Düsenkanal (15) zumindest eine elektrisch leitfähige Wandung aufweist und gegen die erste Elektrodeneinheit (3) isoliert ist, und welches zumindest eine weitere Elektrodeneinheit (31) aufnimmt, mit Mitteln zum Anlegen einer Spannung zwischen der ersten und der zweiten Elektrodeneinheit (3, 3') sowie mit Mitteln (11) zum Zuführen eines Prozessgasstroms zu jeder Elektrodeneinheit (3, 3'), wobei der zumindest einen weiteren Elektrodeneinheit (3') jeweils ein separater Düsenkanal (15) zugeordnet ist, welcher eine leitfähige Wandung aufweist, die gegen die jeweils zugeordnete Elektrodeneinheit (3') isoliert ist, die separaten Düsenkanäle (15) so angeordnet sind, dass sich die Prozessgasströme in einer gemeinsamen Düsenaustrittsöffnung (16) einer Düsenspitze (14) vereinigen, und die Wandungen des ersten und des zweiten Düsenkanals (15) elektrisch unmittelbar miteinander verbunden sind.
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