| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR HOLDING DEVICE AND DICING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05144939(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910307859 |
申请日期 |
1991.11.22 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YAMADA YUTAKA;IIJIMA NOBUO |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/301;H01L21/68;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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