| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING OPTIMIZED CMOS FIELD EFFECT TRANSISTORS OF THE VLSI TECHNIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0244607(B1) |
申请公布日期 |
1993.06.09 |
| 申请号 |
EP19870104024 |
申请日期 |
1987.03.19 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
MUELLER, WOLFGANG, DR. |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L27/092;H01L21/8238;H01L27/105;H01L29/10;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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