VERDAMPFERSCHIFFCHEN FUER EINE VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN,申请号DE19914139792-传众专利搜索

发明名称	VERDAMPFERSCHIFFCHEN FUER EINE VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号	DE4139792(A1)	申请公布日期	1993.06.09
申请号	DE19914139792	申请日期	1991.12.03
申请人	LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE	发明人	GRIMM, HELMUT, DR., 6100 DARMSTADT, DE
分类号	C23C14/26;C23C14/24	主分类号	C23C14/26
代理机构		代理人
主权项
地址