发明名称 MANUFACTURE OF HIGH PURITY LOW ARSENIC ANHYDROUS HYDROGEN FLUORIDE
摘要
申请公布号 EP0351107(B1) 申请公布日期 1993.06.09
申请号 EP19890306641 申请日期 1989.06.29
申请人 ALLIED-SIGNAL INC. 发明人 SUBBANNA, SOMANAHALLI NARANAPPA;REDMON, CHARLES LEWIS;BOGHEAN, BARRY JOHN;WAMSER, CHRISTIAN
分类号 B01J27/16;B01J27/24;C01B7/19;C01G28/00 主分类号 B01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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