| 发明名称 |
AUTOMATIC FOCUSING SYSTEM FOR OBSERVING MEANS FOR INSPECTING AN OBJECT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0264057(B1) |
申请公布日期 |
1993.06.09 |
| 申请号 |
EP19870114611 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
IKEDA, HIROSHI C/O FUJITSU LTD. PATENT DEPT.;TAKESHITA, SHUJI C/O FUJITSU LTD. PATENT DEPT. |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G02B7/28;H04N5/232;H05K3/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
