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发明名称 THIN-FILM CONDUCTIVE CIRCUIT AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 EP0538468(A4) 申请公布日期 1993.06.09
申请号 EP19890900647 申请日期 1988.12.15
申请人 MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD.;MITSUTOYO CORPORATION 发明人 ISHIHARA, SATOSHI;SUGISHITA, TAKAO
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/70;(IPC1-7):H05K1/09 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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